LiNbO3 (Lithium Niobate) ニオブ酸リチウム単結晶はE-O係数やA-O係数が大きいため、ポッケルスセル やQスイッチ、位相変調器、導波路基板、表面弾性波（SAW）ウエハーなどに 用いられている材料です。ウエハー、アズカットボールなどお客様のご希望に あわせカット致します。 応用： ・SAW・BAWデバイス ・圧電センサー(PET) ・圧電変換器(PES)
LiNbO3結晶,リチウムナイオベート,光学単結晶, Lithium Niobate Thin Film(薄膜LN)
LiNbO3 (Lithium Niobate) ニオブ酸リチウム単結晶はE-O係数やA-O係数が大きいため、ポッケルスセル やQスイッチ、位相変調器、導波路基板、表面弾性波（SAW）ウエハーなどに 用いられている材料です。ウエハー、アズカットボールなどお客様のご希望に あわせカット致します。 応用： ・SAW・BAWデバイス ・圧電センサー(PET) ・圧電変換器(PES)
DENZA7G-7_4065.pdf
不揮発性メモリとして，現在実用化している強誘電 体 薄 膜 は，ゾ ル・ゲ ル 法 に よ る Pb(Zr，Ti)O (PZT)，ス パ ッ タ 法 に よ る PZT，MOD 法 に よ る SrBi Ta O (SBT)である。高集積化や 用範囲の拡 大のために，膜特性の向上，成膜の低温化，量産化が 精力的に検討されている。当社でも MOD 法の SBT をはじめとして，MOD 材料，MOCVD 材料，スパッ タ材料を開発してきた。本稿では，主に MOCVD 材 料を紹介し，合わせて MOD 材料の 用上のポイント とスパッタ材料の高密度 SrRuO (SRO)ターゲットを 紹介したい。 MOCVD 材料 われわれは，MOCVD 材料の開発目標 として，室温でできるだけ液体で，供給時 に熱 解しない，高い蒸気圧を持つ化合物 を狙っているが，まだ十 には達成できて いない。また個々の化
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