EPMAとEDX

EPMAは英語で書くとElectron Probe MicroAnalysisです。つまり電子を 入射して分析を行うという意味です。検出するのは特性X線です。 特性X線の波長（＝エネルギー）は元素によってすべて異なります。 したがって，特性X線の波長が分かれば電子線が照射された元素の種類が 同定できるわけです。ただし１つの元素が放出する特性X線は，通常 １種類ではありません。元素にはK殻，L殻，M殻，・・・というように エネルギーレベルの異なる様々な電子軌道が存在しますので，それぞれの 軌道の発生する特性X線は異なります。複数の元素が存在する場合には これらの特性X線が重なりあうように放出されますので，波長が近い場合 には，元の元素を特定するのが難しくなります。そのため，複数の元素比 などを求めたい場合には，１つの元素が放出する複数の特性X線を用いる 必要があります。 特性X線は光と同じ電