スパッタ装置の作成・・・

私は類似の真空装置を使ってますが、残念ながらスパッター装置の使用経験は無いので、分かる範囲で回答します。 まず、この種の装置も様々な仕様が可能なので、利用目的を述べられた方が答えやすいと思いますよ。 一般的な回答をしますと、まずチェンバーですが、小型で一番シンプルな作り方はガラス製のベルジャーでしょう。今後いろいろと機能を付加する可能性が有るなら、ICFと呼ばれる規格の接続口（フランジ）をいくつか設けたステンレス製の円筒型のチェンバーで、天井部分を開け閉めする構造にするのが便利だと思います。高真空の真空チェンバーを自作するのは高度な溶接技術が要るので、真空容器の作製経験が有る工作業者に依頼するのが簡単だと思います。 次に配置ですが、普通は底部にスパッター源となるターゲットを置き、それに向き合うようにして上方に蒸着基板を設置しますが、基板だけを横向きにする場合もあるようです。大型装置では、共