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SMICが 7nm の量産をしている? - Vengineerの戯言
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はじめに ちょっと古い記事ですが、今日の「半導体チップ雑談」のお題なのでアップします。 日本語の記... はじめに ちょっと古い記事ですが、今日の「半導体チップ雑談」のお題なのでアップします。 日本語の記事とオリジナルの記事 SMICが7nmプロセスで半導体を製造、TechInsightsがチップ解析にて確認が日本語の記事ですが、 オリジナルの TechInsights の記事は、 www.techinsights.com です。 色々あって、EUV露光装置は入手できないので、ArF液浸を利用しているということのようです。確か、TSMCの初期の7nmでもArF液浸だったような気がするのでできないことはないと思います。 まいなびの服部さんの記事にも下記のようにありますね。 従来のDUV(ArF液浸)露光装置を用いたマルチパターニングを活用すれば、プロセス工程数は増加するものの7nmプロセスでの製造は可能である。実際、TSMCの7nmプロセスの第1世代品も、DUV露光装置を用いたマルチパターニング