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「SiNの駆動構造など,従来にないMEMSを開発できます」,本格稼働した西澤潤一記念研究センターの試作コインランドリ
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「SiNの駆動構造など,従来にないMEMSを開発できます」,本格稼働した西澤潤一記念研究センターの試作コインランドリ
東北大学 原子分子材料科学高等研究機構 教授の江刺正喜氏が中心となった研究開発プロジェクト「マイク... 東北大学 原子分子材料科学高等研究機構 教授の江刺正喜氏が中心となった研究開発プロジェクト「マイクロシステム融合研究開発」。今回のプロジェクトの一つに,MEMS試作ラインを有料で貸し出し,東北大学のMEMS研究者の助言によって開発を後押しする「試作コインランドリ」がある。この試作コインランドリで使われる,西澤潤一記念研究センター(旧・半導体研究振興会の建物,図1)内の改造がほぼ完了し,本格的な稼働を開始した。