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抵抗率の測定方法 表面抵抗率と体積抵抗率
1 概 要 物質(材料)の導電性(電気の通し易さ)の尺度としては、一般的に(電気)抵抗(Resistance... 1 概 要 物質(材料)の導電性(電気の通し易さ)の尺度としては、一般的に(電気)抵抗(Resistance)が用いられています。この抵抗を単位体積(1�p×1�p×1�p)当たりで示した値が体積抵抗率(Volume Resistivity,単位Ω・�p)です。この値は物質に固有の絶対値であり、[図3.1 体積抵抗率(ρv,Ω・�p)の定義]に示すように断面積W×tに一定電流I(A)を流し、距離Lだけ離れた電極間の電位差V(V)を測ることにより求められます。 2 四端子法と二端子法 しかし、実際に試料の体積抵抗率を求める時には、[図3.2.1 四端子法と二端子法の電極構成]に示すような四端子法が用いられます。これは、一定電流を流し込むところ(電流電極と試料表面との間)で、界面現象のために接触抵抗と呼ばれる電圧降下が生じるため、それを排除し、試料の真の体積抵抗率を求めるために用いられて
2011/10/01 リンク