抵抗率の測定方法 表面抵抗率と体積抵抗率

１ 概 要 物質（材料）の導電性（電気の通し易さ）の尺度としては、一般的に（電気）抵抗（Resistance）が用いられています。この抵抗を単位体積（１�p×１�p×１�p）当たりで示した値が体積抵抗率（Volume Resistivity，単位Ω・�p）です。この値は物質に固有の絶対値であり、［図３.１ 体積抵抗率（ρｖ，Ω・�p）の定義］に示すように断面積Ｗ×ｔに一定電流Ｉ（Ａ）を流し、距離Ｌだけ離れた電極間の電位差Ｖ（Ｖ）を測ることにより求められます。 ２ 四端子法と二端子法 しかし、実際に試料の体積抵抗率を求める時には、［図３.２.１ 四端子法と二端子法の電極構成］に示すような四端子法が用いられます。これは、一定電流を流し込むところ（電流電極と試料表面との間）で、界面現象のために接触抵抗と呼ばれる電圧降下が生じるため、それを排除し、試料の真の体積抵抗率を求めるために用いられて

[shu039]

、抵抗率の測定方法　表面抵抗率と体積抵抗率

[hapirie]

四端子法、二端子法、四探針法