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東京エレクトロン デバイス(TED)は、深紫外線LEDによる殺菌や不活化効果の検証を行うことができる「評... 東京エレクトロン デバイス(TED)は、深紫外線LEDによる殺菌や不活化効果の検証を行うことができる「評価用深紫外線LEDモジュールキット」の販売を始めた。 照射モジュールは36個の深紫外線LEDを搭載 東京エレクトロン デバイス(TED)は2020年10月、深紫外線LEDによる殺菌や不活化効果の検証を行うことができる「評価用深紫外線LEDモジュールキット」を開発し、発売すると発表した。 新製品は、36個の深紫外線LEDを搭載した照射モジュール「TEVM0606-164-1-03」と、電源や照射制御の機能を備えた駆動コントローラ「TE5DRV1-VM0606-164-1」で構成される。価格(税別)は79万円。 TEVM0606-164-1-03は発光面サイズが40×40mmで、波長は265nm、280nm、310nmより選択できる。外形寸法は67×67×110mmである。TE5DRV1-V