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ナノシート構造を超える高い密度を実現するフォークシート構造のトランジスタ
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ナノシート構造を超える高い密度を実現するフォークシート構造のトランジスタ:福田昭のデバイス通信(3... ナノシート構造を超える高い密度を実現するフォークシート構造のトランジスタ:福田昭のデバイス通信(304) imecが語る3nm以降のCMOS技術(7) 前回に続き、「FinFETの次に来るトランジスタ技術(ナノシートFETとフォークシートFET)」の講演部分を紹介する。imecは、フォークシート構造のトランジスタの研究開発に力を入れている。 ナノシート構造の長所と短所 半導体のデバイス技術とプロセス技術に関する世界最大の国際学会「IEDM(International Electron Devices Meeting)」は、「チュートリアル(Tutorials)」と呼ぶ技術講座を本会議(技術講演会)とは別に、プレイベントとして開催してきた。2020年12月に開催されたIEDM(Covid-19の世界的な流行によってバーチャルイベントとして開催)、通称「IEDM2020」では、合計で6本のチュ