パワーMOSFET - Wikipedia

パワーMOSFET（英: Power MOSFET）は、大電力を取り扱うように設計されたMOSFETのこと。 他のパワーデバイスと比較するとスイッチング速度が速く、低電圧領域での変換効率が高い為、200V以下の領域で、スイッチング電源や、DC-DCコンバータ等に用いられる。 MOSFETの回路図記号 パワーMOSFETの基本的な構造は、DMOS（Double-Diffused MOSFET）と呼ばれる構造で、N+基板の上に形成されたNエピタキシャル層表面側に低濃度のP型層（Pボディ）と高濃度のN型層を二重拡散で形成した構造である（図1）。この構造（単位セル）が多数並列接続され、ひとつの素子となっている。素子のオン抵抗を低減する為には単位セルの微細化が有効であり、表面に溝を形成しその中にゲートを埋め込むことにより単位セル面積を縮小するトレンチゲート型が開発されている（図2）。さらに、高耐圧化