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反射高速電子線回折 - Wikipedia
反射高速電子回折(はんしゃこうそくでんしかいせつ)(Reflection High Energy Electron Diffraction、... 反射高速電子回折(はんしゃこうそくでんしかいせつ)(Reflection High Energy Electron Diffraction、RHEED(あーるひーど[1]))とは電子回折法の一種であり、物質の表面状態を調べる技術の一つである。 原理[編集] 真空中で電子銃により電子を加速し、加速した電子を試料表面にごく薄い角度で入射させる。電子線は試料表面で反射して、蛍光スクリーンに達し、回折図形として現れる。 特徴[編集] 電子線の波長は加速電圧E=25kVのとき、λ=0.0077nmと非常に短いため、原子単位での表面状態が図形に影響する。電子線は蒸着の過程に影響しないため、分子線エピタキシー法などにおける成長中の表面構造のその場(in-situ)観察にも用いられる。 試料表面がアモルファス状になり、原子配列が揃っていないときはRHEED図形はハロー状(ぼやけたリング状)のパターンになる
2010/04/13 リンク