パワー半導体の注目材料「SiC」でシリコンの牙城「LSI」に挑む（ニュースイッチ） - Yahoo!ニュース

広島大学は2024年度にスーパークリーンルームを刷新し、半導体の新研究拠点を整備する。23年には「せとうち半導体共創コンソーシアム」を開設。マイクロンメモリジャパン（広島県東広島市）などと連携し、産学官で次世代半導体の開発に取り組む。 【図解】SIC半導体の産業用途 同大ナノデバイス研究所の黒木伸一郎教授は炭化ケイ素（SiC）を使った半導体を長年研究する。SiCは新幹線や電気自動車への実装が進むパワー半導体の材料として注目されるが、黒木教授が目指すのは、シリコンの牙城である大規模集積回路（LSI）をSiCで作ることだ。 シリコンと異なり、SiCは高温下でデバイスを作製する必要があり、特殊な環境が必要。同大にはリソグラフィーからエッチング、薄膜形成などの各種装置群がそろう。「SiCデバイスの設計から試作、評価まで一貫して行える環境は国内の大学ではここしかない」（黒木教授）。 黒木教授 黒木教

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SiCで論理回路を作るのか。興味深い