人材不足の半導体製造装置・部材業界、ＡＩで生産効率化急げ ニュースイッチ by 日刊工業新聞社

ＩｏＴ（モノのインターネット）や人工知能（ＡＩ）の普及に伴い、半導体製造に使う装置や部材の需要が増加する中、半導体製造装置・部材メーカーもＩｏＴやＡＩを駆使して生産や顧客サポート体制を強化している。大日本印刷は半導体製造に使う部材の生産をＡＩで効率化する。キヤノンは顧客サポートでのＡＩ活用を始めた。ウシオ電機は装置の故障防止や機能改善などにＡＩを導入する。 大日本印刷は回路を半導体ウエハーに転写する際の原版「フォトマスク」の生産現場でＡＩの活用を２０１８年から本格化する。フォトマスクの製造装置の稼働状況などをＩｏＴセンサーで取得する。取得した情報はＡＩで解析し、故障の予知保全や装置のメンテナンス間隔の延長につなげる。 装置のメンテナンスは数週間から数カ月に１回程度、定期的に実施しているが、メンテナンスに数日かかるものもあるという。ＡＩで効果的なメンテナンス間隔を装置ごとに算出できれば、生産