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東芝とSanDiskのNAND新工場が着工
東芝と米SanDiskは8月4日、半導体メモリ製造拠点の四日市工場(三重県四日市市)で、300ミリウエハーに... 東芝と米SanDiskは8月4日、半導体メモリ製造拠点の四日市工場(三重県四日市市)で、300ミリウエハーに対応したNAND型フラッシュメモリ新製造棟の建設を始めたと発表した。 2007年第4四半期(10~12月期)から量産を始め、当初の月産能力は2500枚。2008年第4四半期には月産6万7500枚に高める。 3000億円かけて建設し、両社の合弁会社Flash Allianceが導入、製造したウエハーは両社が均等に配分する。プロセスルールは56ナノメートルからスタートし、順次微細化していく。 新棟は免震構造を採用。落雷による電圧低下に対応する装置も採用した。