手のひらに載るほど超小型な電子線プローブX線マイクロアナライザーの開発に成功 — 京都大学

JST産学イノベーション加速事業【先端計測分析技術・機器開発】要素技術プログラムの一環として、河合潤 工学研究科教授は、手のひらに載るほど超小型な電子線プローブX線マイクロアナライザー（EPMA： Electron Probe Micro Analyser）の開発に成功しました。 研究成果の概要 EPMAは、生体試料、金属材料、半導体集積回路の微細組織の構成元素分析などに用いられ、従来は、高電圧発生系、電子光学系、X線分光器、X線検出器、高真空ポンプ、高電圧電源などを備えた複雑かつ高価で、大型の装置（典型的な設置寸法の例は、幅×奥行×高さが、約1200mm×1200mm×1700mm）でした。 河合教授はこれまでに、手のひらに載る小さなガラス製容器の中に組み込みこんだ3mm×3mm×10mmの強誘電体に電流を流すことによって80kV（8万ボルト）の高電圧を生成し、これが電子を加速すること