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失敗事例 > シランガスの排気ダクト内での火災
半導体用の特殊ガスの一種であるモノシランガスが大気と接触して大規模な火災となった日本で初めての事... 半導体用の特殊ガスの一種であるモノシランガスが大気と接触して大規模な火災となった日本で初めての事例である。取扱いに無知であったことが最大要因だろう。取扱物質,材料に関する事前検討の不足が原因として重要であるが,事故後の対応(設備への損害をおそれて放水消火が遅れたこと)の悪さのために消火活動が遅れて,被害が拡大したといわれている。火災時の対応についても検討されていなかったのではないか。 プラズマCVD装置のシランガス流量制御装置の不調のため過剰のシランが装置に供給され、そのため通常の状態より大量のシランガスがCVD装置に接続する排ガス燃焼設備に供給された。さらに排ガス供給設備に供給される酸素ガスが原因不明で停止された。そのため、大量の未燃のシランガスが排気ダクトに流入した。そこで空気と反応して自然発火した。さらに排気ダクトがポリプロピレン製であったためにダクトに沿って火災が拡大した。