ジェー・エー・ウーラム・ジャパン - エリプソメトリーの基礎

はじめに このエリプソメトリー講座は、エリプソメトリーそのものを更に知りたい方や、 エリプソメトリーのアプリケーションを知りたい方にむけての紹介になります。 初心者の方むけに書かれていますが、 エリプソメトリーを経験したお客様にも役立つ情報が述べられています。 エリプソメトリーとは何か？ クイックアンサー: エリプソメトリーは、薄膜や表面または 物質の微細構造を解析する為に 偏光 した光を用いる大変感度の良い測定技術です。 これは反射した 偏光ビーム の相対的な位相の変化を測定することでその感度が得られます。 さらなる説明: 下の図1はエリプソメトリーの基本的な原理を示したものです。 まず入射する光の 偏光状態 は既知です。 この入射光は試料と相互作用し反射してきます。 この相互作用が光の偏光状態を変化させ直線偏光から楕円偏光になります。 この 偏光状態 の変化は試料からの反射光を解析する

[Tsuji_Ken]

エリプソメトリー