エリプソ elipsoジェー・エー・ウーラム・ジャパン - 技術資料

Answer: エリプソメトリーとは、偏光した光を用いて薄膜やバルク物質の特性を調べる測定法です。サンプルに光が 当たると、サンプルと光は相互作用して反射光や透過光の偏光状態は変化します。 エリプソメトリーの結果は、一般的にプサイ（Ψ）とデルタ（⊿）の２つの値で表されます。データは光学定数や薄膜の膜厚などの物理量を測定するための解析に用いられます。