「酸化ガリウム」研究開発に先鞭を付けたNICTが予想する半導体デバイスの未来 ニュースイッチ by 日刊工業新聞社

無線通信向け高周波酸化ガリウムトランジスタ実現により、ＩｏＴの普及が見込まれる極限環境の代表例（ＮＩＣＴ提供） 酸化ガリウムは、情報通信研究機構（ＮＩＣＴ）が２０１１年に電力変換を担うパワーデバイス応用に向いた材料特性に目を付け、その研究開発に先鞭（せんべん）をつけた材料である。パワーデバイス材料候補の半導体は、非常に強固な原子間の結合を有する傾向がある。 この特徴は、放射線や機械的ストレスに高い耐性を持つ堅牢な材料であるとも言える。ほかにも、数百度にもなる高温でさえ周辺環境の熱エネルギーに擾乱されることなくデバイス動作が期待できる。さらに酸化物であるため化学的にも安定である。このように、端的に言えば “頑丈”な酸化ガリウムデバイスは、パワーデバイス用途だけでなく、極限環境と呼ばれる非常に過酷な環境でも活きてくる。 さまざまな分野で活用される半導体デバイスは、著しい性能劣化が生じ、継続的な

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