【イベントレポート】銅配線の微細化に伴う最大の課題を解決する、ナノ秒パルスのレーザーアニール技術

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tanakh “信号伝送の立ち上がり時間が15%ほど短くなった。そしてEM寿命が伸びた。第ゼロ層ビア(V0)と第1層配線(M1)の接続部におけるEM寿命は27%伸び、第1層ビア(V1)と第1層配線(M1)の接続部におけるEM寿命は36%伸びた”ほんとぉ？(´･_

2018/06/25 リンク

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tanakh2018/06/25
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YaSuYuKi2018/06/22
pc_watch2018/06/22

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