大気圧プラズマとは - 株式会社アクア

弊社の装置に採用しているプラズマは、真空容器や反応用ガスを充満させる等の特殊な環境を必要としない、常圧大気中で発生させる大気圧プラズマを使用しています。 プラズマとは・・・ 気体原子に大きなエネルギーを与えると、原子の回りを回っている電子が活性化し、激しい動きに耐えられなくなると、外周部の電子が飛び出してしまいます。飛び出した電子は高速で周囲の原子と衝突し、原子を回っていた電子も活性化し飛び出してしまいます。この現象がエネルギーが減衰するまで連鎖的に起こり広がっていきます。 電子が少なくなった原子は、不安定で非常に活発な状態となり、このような原子の状態をプラズマと呼びます。 この時、電子が飛び出した原子は＋イオン化しますが、飛び出した電子も周囲に存在するため、電気的に中性となっていることもプラズマ状態の特徴です。 プラズマ状態となった原子は安定した状態に戻ろうとして、周囲の物質と様々な化学

[Kuromaku]

“同等のマイナス電子も空間中に存在するため、照射される活性ガス全体としては、電気的に中性となっており、処理対象素材に電気的ダメージを与えることはありません。（*3） 高電圧を使用する電極部がガス通路内部に