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TEM/SEM標準試料 ゲラー(GELLER)社製品MRS-6販売
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TEM/SEM標準試料 ゲラー(GELLER)社製品MRS-6販売
SEM, FESEM, FIB, CD-SEMの迅速で正確な倍率較正を容易に行うことができます。様々な測定範囲において十... SEM, FESEM, FIB, CD-SEMの迅速で正確な倍率較正を容易に行うことができます。様々な測定範囲において十分な機能やトレーサブル較正基準を持ちます。これらは、最新の半導体及びMEMS製造技術を用いて作られています。 倍率較正試料は超平坦なシリコン基板上で作られており、5umまでのボックスに対し精密に50nmのクロム蒸着がされており、2umから100nmまでのボックスに対しては、50nmの金が20nmのクロム上に蒸着されています。シリコン上のクロム及び金/クロムは、SE及びBSEイメージングモードの両方において優れたコントラストをもたらします。シリコン基板及びクロム/金の特性全てに導電性があるため、帯電の問題がありません。また、頑丈な構造によりプラズマ洗浄が可能です。 より小さなボックスは、迅速な測定のために入れ子状になっています。ボックスの精度は<0.3%です。スタンダードの