計測・分析装置の性能を飛躍的に高める高輝度・細束な電子源を開発 | NIMS

計測・分析装置の性能を飛躍的に高める高輝度・細束な電子源を開発 ~現行の電子源に比べ輝度が100倍に ! 次世代電子顕微鏡開発に道~ 国立研究開発法人 物質・材料研究機構 (NIMS) NIMSの研究グループは、電子顕微鏡などの電子源として期待されているランタンホウ化物 (LaB6) 単結晶ナノワイヤの表面を原子レベルでクリーニングする技術を開発し、電子源の高性能化と安定性の向上に成功しました。 国立研究開発法人 物質・材料研究機構 極限計測ユニットのZhang Han 主任研究員および先端材料プロセスユニット 一次元ナノ材料グループの唐 捷グループリーダーは、電子顕微鏡などの電子源として期待されているランタンホウ化物 (LaB6) 単結晶ナノワイヤの表面を原子レベルでクリーニングする技術を開発し、電子源の高性能化と安定性の向上に成功しました。さらに、開発した電子源を走査型電子顕微鏡に組

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“NIMSの研究グループは、電子顕微鏡などの電子源として期待されているランタンホウ化物（LaB6）単結晶ナノワイヤの表面を原子レベルでクリーニングする技術を開発し、電子源の高性能化と安定性の向上に成功しました。