(湯之上 隆:技術経営コンサルタント、微細加工研究所所長) 米国の対中輸出規制と日蘭の協調 2022年10月7日、米国が中国の先端半導体メーカーに対して、半導体製造装置の輸出を停止する規制を発表した(その規制を「10・7」規制と呼ぶ)。その後、日本とオランダも、米国に足並みを揃えることになり、日本は2023年7月1日以降、オランダは2023年9月1日以降、ArF液浸露光装置を出荷しないことになった。 ……はずなのだが、2024年第2四半期(Q2)に至るまで、オランダのASMLが依然として、中国にArF液浸を大量に出荷している。一体これはどうしたことなのだろうか? 本稿では、その詳細について分析し、今後を展望する。 中国がArF液浸を買い漁っている まず、図1に示したASMLの露光装置別の出荷額を見てみると、ArF液浸の出荷額が、最先端露光装置EUVを抜いて、2023年Q2に2.8億ユーロ、
![輸出規制の中で続く謎の出荷、中国はArF液浸露光装置を一体何台ASMLに発注したのか? 世界の半導体工場を直撃、中国の買い占めが引き起こした世界的ArF液浸不足 | JBpress (ジェイビープレス)](https://cdn-ak-scissors.b.st-hatena.com/image/square/ee10348436d0f5dd28e9fd07f67f967dfae9e3f5/height=288;version=1;width=512/https%3A%2F%2Fjbpress.ismcdn.jp%2Fmwimgs%2F6%2Fa%2F1200mw%2Fimg_6ab34f7a856a6ef90a41de4ae55e1c0c4276515.jpg)