Atom-by-atom structural and chemical analysis by annular dark-field electron microscopy O.L. Krivanek et al., Nature 464, 571-574 走査型透過電顕(STEM)の分解能は,球面収差補正用の光学系としてCSコレクタが開発されたことにより劇的に向上している.以前はせいぜい数nmオーダーの分解能しかなかったものが,一気にサブnmの領域に入っているわけで,単原子レベルでの分解能を得るだけではなく,そこでのエネルギー分解等を用いて原子種の識別まで出来るという究極の元素分析手法がいくつか開発されつつある. よく用いられるのはEELSによる分析であり,これまでにも原子像を得ながらそれぞれの原子種の識別をする,という研究が発表されているが,散乱確率が低めであるとか,あまり重い原子種
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