アクリル板と水でガラスやシリコン表面を平たん化

東京大学は、アクリル板と水だけを用い、ガラス表面とシリコン表面を原子レベルで平たん化できる「表面研磨技術」を開発した。微粒子や薬液を一切用いない、低コストで極めてクリーンな研磨法である。 研磨プロセスでコストと環境負荷を大幅低減 東京大学大学院工学系研究科の三村秀和准教授と郭建麗大学院生らによるグループは2022年3月、アクリル板と水だけを用い、ガラス表面とシリコン表面を原子レベルで平たん化できる「表面研磨技術」を開発したと発表した。微粒子や薬液を一切用いない、低コストで極めてクリーンな研磨法である。 アクリルの微粒子を用いた加工技術は、東京大学大学院工学系研究科の松澤雄介大学院生（研究当時は博士課程2年、夏目光学勤務）が、2017年に発見した。その後の研究により、この加工には水中におけるアクリルの加水分解反応が関与していることを、郭氏が提唱。水中ではアクリルの表面が、研磨で一般的に用いら