半導体をさらに進化させるEUV(極端紫外線)って何？需要拡大で注目される企業をピックアップ – MONEY PLUS

EUVが半導体産業成長のドライバーに iphone13のプロセッサは線幅５ナノメートルの技術で作られています。これが2024年には２ナノメートルの生産が始まります。そして、2030年までには１ナノメートル台まで微細化が進むというのが半導体業界としての技術ロードマップです。１ナノメートルというと、髪の毛の５万分の１、コロナウィルスの百分の１、そして、ほぼ原子10個分です。こうした極限的な微細加工を可能にするのがEUVです。 残念ながら、EUV露光装置そのものは、オランダのASMLが独占しています。しかし、露光装置とセットで使われる製造装置や検査装置、そして、部材については日本メーカーが高いシェアを持っています。 東京エレクトロンはEUV用の感光性樹脂、フォトレジストをシリコンウエハー上に塗布し現像するコーターデベロッパーで市場を独占しているほか、レーザーテックは、世界で唯一、EUVを使ってフ