ニコンと東北大、低環境負荷で低抵抗ITO膜を製造（EE Times Japan） - Yahoo!ニュース

ニコンと東北大学多元物質科学研究所は2021年5月、新たに開発した「高水分散性ITOナノ粒子」と環境負荷が低い成膜方法「ミストデポジション法」を組み合わせて、低抵抗の透明導電性薄膜を製造することに成功したと発表した。 共同研究チームは、ソルボサーマル合成法において、粒子の表面に突起形状を設ける設計を行うことで、ITOナノ粒子の親水性を向上させることに成功した。従来品に比べ、粒子が長期的に安定して分散することを確認した。 ナノサイズのITO粒子を用いた塗布溶液は、有機溶剤や界面活性剤などの添加物が不要となる。このため、150℃以下の低温処理と大気圧下という環境で、低抵抗の透明導電膜を作製することができるという。 共同研究チームは今回、ITOナノ粒子を用いた塗布溶液と、大気圧成膜法の1つである「ミストデポジション法」を用いて、PEN（ポリエチレンナフタレート）基板上に150℃の低温プロセスで透

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ITO膜 = 透明電極とかに使うらしい https://ja.wikipedia.org/wiki/%E9%85%B8%E5%8C%96%E3%82%A4%E3%83%B3%E3%82%B8%E3%82%A6%E3%83%A0%E3%82%B9%E3%82%BA