世界トップの総合ペリクルメーカーへ、三井化学が半導体市場の需要獲得に注力 ニュースイッチ by 日刊工業新聞社

三井化学は旭化成からフォトマスク用防塵カバーのペリクル事業を取得し、設立した三井化学ＥＭＳ（宮崎県延岡市）の営業を開始した。三井化学グループのペリクル事業について新製品の開発や最先端技術の向上を進め、世界トップの総合ペリクルメーカーを目指す。 三井化学ＥＭＳは三井化学の完全子会社で、従業員は約１７０人。液晶や有機ＥＬなどのフラット・パネル・ディスプレー（ＦＰＤ）の露光工程で使用するＦＰＤペリクルで世界トップシェアを占めている。 三井化学が得意とする深紫外線（ＤＵＶ）を光源とした半導体の露光工程で使用されるＤＵＶペリクルにおいても、市場で高い評価を受けているという。三井化学ＥＭＳを設立することで三井化学との相乗効果を引き出し、ペリクル事業の一層の拡大につなげる。 ペリクルは半導体や液晶パネルの露光工程において、微細パターンが描かれたフォトマスクの表面に装着する薄い保護膜。傷やホコリを付きにく