ラップ研磨

シリコンウエハや光学部品、精密部品の研磨で多用される研磨手法の一つで、業界によっては研磨と言えばラップのことを言っている場合もあるほどポピュラーな研磨手法です。 ラップ研磨が用いられるときは、ほとんどの場合、鏡面のような仕上がりが要求されるケースで、ミクロンオーダー、時にはナノレベルの精度が求められることもあります。 研磨の目的には精度よく表面を仕上げることでその部分で起きる摩擦抵抗を減らし、部品の寿命を向上させるほか、こうしたラップ研磨が使われるシリコンウエハや光学部品ではそもそも面精度がしっかり出ていないと一部分だけ特性が出ない等の不適合が起きます。 研磨手法としては、まず湿式で行うものと乾式で行うものがあります。湿式は研削液や水を用いた方法で、この液の中に研削作用を持つ砥粒が入っています。乾式は、こうした液を使わないもので、イメージとしては金属のバフ研磨に近く、磨きこんで光沢を出すと

[mabarasuji]

“ラップ研磨の大きな特徴は、非常に精度の高い厚みや面精度の制御が可能なことですが、難点は加工速度の遅さ”