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  • 物理蒸着(PVD)・化学蒸着(CVD) - 東大阪市技術交流プラザ

    東大阪市内のモノづくり企業の製品や加工技術、保有設備などの情報を掲載。内外から受発注探しなどに活用されています。 蒸着とは、物質を高温にして蒸発させ、処理物に吸着させその表面上に物質の固体被膜を形成する方法である。 蒸着には大まかに、物理的反応を利用した物理蒸着(PVD)と、化学的反応を利用した化学蒸着(CVD)の二種類がある。 物理蒸着では、蒸発させる金属(蒸発源)を加熱して気化させる。その際、蒸発源を気化しやすくするため、真空近くまで減圧して行う方法を真空蒸着という。気化した金属は、処理物表面に吸着されると、冷却されその表面で固化する。こうして金属被膜が形成されることとなるが、この方法は主に純金属の蒸着に用いられる。例えば、CD(コンパクトディスク)はポリカーボネイトにアルミを蒸着して作られる。 同様に減圧した容器内で、蒸発源と処理物間に電圧をかけ、気化した金属をイオン化して蒸着

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