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半導体工場の過去の地震被害と復旧までの時間
2016年4月14日の夜以降、断続的に大きな揺れが続いている熊本県を中心とした九州の地震で、熊本地区の半... 2016年4月14日の夜以降、断続的に大きな揺れが続いている熊本県を中心とした九州の地震で、熊本地区の半導体工場が稼働を停止している(関連記事:半導体工場、余震で被害確認が難航――熊本地震)。これまでも、半導体工場、特に、ウエハー加工を行う半導体前工程工場は、地震被害に遭いやすく、地震で大きな被害が生じてきた。 東日本大震災 最も記憶に新しいところでは、2011年3月11日に発生した東日本大震災で、一時、東日本地区のほぼ全ての工場が稼働を停止した。工場再稼働の大きな妨げになったのが、主に停電だった。計画停電などの実施により復旧作業が思うように進まず、東日本地区の多くの半導体工場で1週間から1カ月の期間にわたり、操業が止まった。 また東日本大震災では、ルネサス エレクトロニクスの那珂工場(茨城県ひたちなか市)は、大きな揺れに見舞われ、建屋/クリーンルームが損壊する大きな被害が受けた。その後、