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排ガス除害装置を開発、危険ガスを効率よく無害化
科学技術振興機構(JST)は、東京大学大学院工学系研究科の一木隆範教授が行った研究を基に、カンケンテ... 科学技術振興機構(JST)は、東京大学大学院工学系研究科の一木隆範教授が行った研究を基に、カンケンテクノが受託開発した「減圧プラズマによる高効率除害装置」について、その成果を認定した。開発した排ガス除害装置を用いると、ICなどを製造する工程で用いられるさまざまな危険ガスを効率よく無害化できるという。 シランガス処理ではエネルギーを最大約75%も削減 科学技術振興機構(JST)は2021年3月、東京大学大学院工学系研究科の一木隆範教授が行った研究を基に、カンケンテクノが受託開発した「減圧プラズマによる高効率除害装置」について、その成果を認定した。開発した排ガス除害装置を用いると、ICなどを製造する工程で用いられるさまざまな危険ガスを効率よく無害化できるという。 ICやフラットパネルディスプレイ、太陽電池などの製造工程では、シランガス(SiH4)や水素ガスといった毒性や可燃性のある危険なガスが