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高磁場のみで金属プラズマを発生、安定に維持
豊橋技術科学大学と東北大学の研究グループは、マイクロ波共振器で形成される高磁場のみで金属プラズマ... 豊橋技術科学大学と東北大学の研究グループは、マイクロ波共振器で形成される高磁場のみで金属プラズマを発生させ、安定に維持できることを発見した。今回の研究成果は、最新の半導体製造プロセスにも適用できる可能性があるという。 レアアースやレアメタルの還元手法に適用も 豊橋技術科学大学電気・電子情報工学系の藤井知教授と東北大学大学院工学研究科応用化学専攻の福島潤助教らによる研究グループは2023年2月、マイクロ波共振器で形成される高磁場のみで金属プラズマを発生させ、安定に維持できることを発見したと発表した。今回の研究成果は、最新の半導体製造プロセスにも適用できる可能性があるという。 プラズマ技術は、自動車やプロジェクターのヘッドランプ、半導体デバイスの微細加工プロセスなど、幅広い用途に用いられている。ところが、プラズマを維持するために、これまでは液体やガスをチャンバーへ導入し、高電圧や高周波によって