350℃の高温下で「SiC半導体IC」基本動作、京大が実証成功 ニュースイッチ by 日刊工業新聞社

京都大学の金子光顕助教らは、３５０度Ｃの高温下で炭化ケイ素（ＳｉＣ）半導体による集積回路（ＩＣ）の基本動作実証に成功した。低消費電力が可能な相補型の構造を持つ接合型電界効果トランジスタ（ＪＦＥＴ）を開発。高温下でも安定動作し、待機電力を最大でも数十ナノワット（ナノは１０億分の１）に抑えられることが分かった。今後は微細化による小型、高速化が可能か検討を進めていく。 ＳｉＣ半導体は約８００度Ｃまで正常に動作するが、ＩＣで一般的な金属酸化膜半導体電界効果トランジスタ（ＭＯＳＦＥＴ）では酸化膜とＳｉＣの接合界面に多くの欠陥が存在するという特性から高温下での安定動作が困難だった。そこで研究チームは、界面欠陥が生じず高温下で安定動作するＪＦＥＴをＳｉＣ上で作製。さらにＭＯＳＦＥＴと同じ相補型の構造を実現し、消費電力を抑えることにも成功した。 ｎ型とｐ型のトランジスタを組み合わせた相補型回路は待機電力を