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CO2排出量を正確にモニタリング、東芝がMEMSベースCO2センサーを開発
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CO2排出量を正確にモニタリング、東芝がMEMSベースCO2センサーを開発
東芝は、「CEATEC 2023」(2023年10月17~20日、幕張メッセ)において、工場などでカーボンニュートラル... 東芝は、「CEATEC 2023」(2023年10月17~20日、幕張メッセ)において、工場などでカーボンニュートラルに向けた対策を進める際にCO2の排出量や削減量を正確にモニタリングできるMEMS(微小電子機械システム)ベースのCO2センサーを披露した。2026年をめどに開発を進めている。 展示したMEMSベースのCO2センサーの基本構造は、基板上にあるマイクロヒーターから数μmの距離(エアギャップ)を空けて温度センサーを組み込んだメンブレン(隔膜)を設置した熱伝導型ガスセンサーとなっている。熱伝導型ガスセンサーでは、基準ガスとなる窒素(N2)とCO2など測定対象となるガスの比熱の違いを基に、温度上昇の値を温度センサーで検出することで、測定対象のガス濃度を測定する。 ただし、1個のセンサーだけだと事前に分かっている2種類までの混合ガスの濃度しか測定できない。そこで、感度が異なる複数の熱伝