薄型パネルを変える新技術「MEMSシャッター」

微小電子機器「MEMS」 ごく小さい電子機器とその製造技術を意味する「MEMS」（Micro Electro Mechanical Systems）は、言い換えれば「半導体生産技術の応用で製作された微小なメカ」だ。一般的な半導体は平面的だが、MEMS機器は立体的な構造を持ち、しかもなんらかの可動部を備えているとされる。そのMEMSが、近年応用範囲を広げつつある。 これまでもMEMSはインクジェットプリンターのヘッド部分などに利用されてきたが、小型で高機能な部品を一括形成する技術（マイクロマシニング技術）の改良などにより製造コストが低下。いまや携帯電話などのデジモノ家電でも、加速度センサーやジャイロスコープといったMEMSデバイスの採用が進行している。 MEMSシャッターで変わるディスプレイ ディスプレイの分野にも、MEMSの採用事例が現れ始めた。日立ディスプレイズが「CEATEC JAPA