前の記事 「まだ使いにくいクラウドコンピューティング」と、Google社の噂の『GDrive』 「太陽の暗黒面」を探究するNASA『STEREO』プロジェクト 次の記事 生きた昆虫を遠隔操作する『HI-MEMS』プロジェクト 2009年1月29日 Noah Shachtman 読者の皆さんは、遠隔操作された虫が、米国防総省のために自分を見張っているのではないかなどと、特に心配したことなどないだろう。しかし、国防高等研究計画庁(DARPA)の助成金を得ているカリフォルニア大学バークレー校の研究者たちが、その間違った考えを捨てさせるかもしれない。 この研究者たちは「生きたカブト虫を無線で操作する」ことに成功したと、『Tech-On』が報じている。[リンクは英文記事。日本語版は購読に登録が必要] カブト虫の脳と筋肉には6つの電極が接続された。イタリアのソレントで開催されている学術会議『MEMS
MEMS - Wikipedia
半導体プロセスを用いて作成されたギア（左下）とダニ（右上）の電子顕微鏡写真。（サンディア国立研究所 SUMMiTTM Technologies の好意による www.mems.sandia.gov） MEMS（メムス、Micro Electro Mechanical Systems）は、機械要素部品、センサ、アクチュエータ、電子回路を一つのシリコン基板、ガラス基板、有機材料などの上に微細加工技術によって集積化したデバイスを指す。プロセス上の制約や材料の違いなどにより、機械構造と電子回路が別なチップになる場合があるが、このようなハイブリッドの場合もMEMSという。 その製作には、LIGAプロセスや半導体集積回路作製技術をはじめとして、立体形状や可動構造を形成するために犠牲層エッチングプロセスも用いられる。 以前は、MEMSはセンサなどの既存のデバイスの代替を主な目的として研究開発が進められて
「MEMS 2008」が1月17日、盛況の内に閉幕した。現地レポートもこれが最後となる。 最終日である17日は、午前にだけセッションが組まれており、1日当たりの技術講演の数そのものは14～16日よりも少ない。ただし最終日には「MEMS 2008」の目玉となる講演が控えていた。それはセッション10「埋め込みマイクロデバイス」で発表された、2件の講演である。昆虫に電子回路を直に接続して飛行を制御するという、きわめてユニークな研究だ。米Cornell Universityと米Boyce Thompson Instituteの共同研究チーム(A. Bozkurtほか)、米University of Michiganと米University of California at Berkeley、米Arizona State Universityの共同研究チーム(H. Satoほか)がそれぞれ研究成果を
Intel主導で460万ドルを調達したカナダチーム、VR/ARグラスに視線追跡を搭載させるゴマ粒程の超小型MEMSセンサーを発表。カメラベースではないため低消費電力
Intel主導で460万ドルを調達したカナダチーム、VR/ARグラスに視線追跡を搭載させるゴマ粒程の超小型MEMSセンサーを発表。カメラベースではないため低消費電力 2017-10-20 カナダ企業の「AdHawk Microsystems」は、ARグラスやVRヘッドセットにおける視線追跡システムを可能にする小さなMEMSセンサー（Micro Electro Mechanical Systems、微小電気機械システム）を発表しました。 本チームのアイトラッキング・システムは、よく使われるカメラベースではなく、ゴマ粒程の小型MEMSセンサーを使用しているため、メガネなどの小型デバイスに容易に搭載することができます。 また、カメラベースで行っている1秒間に大量の画像を処理する膨大な計算能力を必要とせず、エネルギー効率も大幅に向上させます。 性能は、毎秒3000回で目の位置を追跡することができ、
シャープは１２日、次世代画面「ＭＥＭＳ（メムス）ディスプレー」の量産を２０１７年に始めると発表した。米半導体大手クアルコムと共同開発する。液晶は屋外など明るい環境では見えにくい弱点があるが、表示方式が違うＭＥＭＳは見やすい。実用化すれば世界初で、スマートフォンや車載用として売り出す。 ＭＥＭＳは、１秒あたり最高１万回という高速で開閉する微小なシャッターで光を制御し、画像にする技術。バックライトが液晶やカラーフィルターを通る液晶方式と違って光を効率良く通すため、同じ条件なら画面が液晶より２～３倍明るくなる。消費電力も半分以下だ。 このため、日光の下などでも使われやすいスマホやタブレットから普及する可能性が高いという。零下や高温でも鮮明に映せるため、自動車内で使うカーナビなどの表示部分としても商談が始まっている。いまは針で示すアナログ式が主流のオートバイ用メーターも、ＭＥＭＳに置き換えられると
ミツミ電機は2014年10月7～11日の会期で開催されている「CEATEC JAPAN2014で、レーザー網膜走査型ディスプレイのウェアラブル情報端末に使用されているMEMSミラーを展示した。 ミツミ電機は「CEATEC JAPAN 2014」（2014年10月7～11日、幕張メッセ）で、レーザー網膜走査型ディスプレイのウェアラブル情報端末「レーザアイウェア」（QDレーザなどが開発）のプロトタイプに使用されているMEMSミラーを展示した。 レーザー網膜走査型ディスプレイは、液晶ディスプレイなどの技術に比べ、高輝度、高色再現性、広視野角で網膜上に画像を自在なサイズ、位置に描画できるという特徴がある。完全なシースルー画像が得られる他、瞳孔近傍に光束を収めた後、網膜に照射する「マクスウェル視光学系」の応用により、装着者の視力を選ばないフォーカスフリーという点も大きな特徴だ。 ミツミ電機がCEAT
※本記事は、2021年3月に開催されたオンラインイベント「2020年度 微細加工プラットフォームコンソーシアム シンポジウム」の内容を再構成したものです。 「王者」インテルでも、TSMCとの技術力の差は歴然 2020年、米国株式市場でエヌビディア（NVIDIA）の時価総額がインテルを超えたと報道された。NVIDIAは、AIで注目される汎用GPUのファブレスメーカーとして知られる。ファブレス（fabless）とは、生産工場を所有しない製造業のこと。 同じく半導体事業を展開するクアルコムとブロードコム、アップルらも実はファブレス半導体メーカーだ。 一方、半導体メーカーの王者として長く君臨してきたインテルは、半導体の設計から製造、販売までの全工程を自社で一貫して行う「IDM（Integrated Device Manufacturer）」に位置づけられる。しかし同社は近年、苦しい状況に追い込まれ
2014年10月6日 明るい屋外でも鮮明な表示が可能、様々な利用シーンで活用できる 業界初※1、MEMS-IGZOディスプレイ※2搭載7.0型タブレット端末を開発 シャープは、業界で初めてMEMS-IGZOディスプレイを搭載した7.0型タブレット端末を開発、法人向け市場を中心に2015年上半期に発売する予定です。 本機は、米国クアルコム社の子会社であるPixtronix社※3と当社の共同開発により実用化した最先端のMEMS-IGZOディスプレイを搭載。Pixtronix社のMEMSディスプレイ技術と当社のIGZO技術の融合により、一般的な液晶ディスプレイに比べ一層の低消費電力化と高い色再現性を実現しました。また、外光下でも鮮明に表示できる高輝度モードや省電力で表示するグレースケール／白黒モードなど、利用シーンやコンテンツに応じて最適な表示モードに切替えることも可能です。 さらに、外出先での
【レポート】昆虫をラジコンのように操る、日本人MEMS研究者の足跡 (1) マイクロ技術はここまで来た! | エンタープライズ | マイコミジャーナル
マイクロ技術はここまで来た! まずはこちらの映像を見てほしい。 カリフォルニア大学バークレー校(UCバークレー、University of California, Berkeley) Michel M. Maharbiz教授のグループで佐藤裕崇博士が取り組んでいる研究だ。上は、昆虫の背中にマイコンを取り付けてさまざまな電気信号を送り、飛行開始・停止させている様子、下は、背中のマイコンを無線で操作して電機信号を送り、恣意的に旋回させているときの様子を撮影したものである。 UCバークレーと言えばMEMS (Micro Electro Mechanical Systems、マイクロマシン)で常に世界をリードしてきた研究機関。彼らのマイクロマシン技術は今や、昆虫を操ることができるまでになったのである。 2007年10月、佐藤氏は世界で初めてマイコンによる昆虫の飛行制御に成功。昨年1月に米アリゾナ州
シャープと米Qualcommは12月4日、モバイル向け次世代ディスプレイの共同開発とQualcommによるシャープへの出資について契約を結んだと正式発表した。 Qualcommの100％子会社Pixtronixが持つ「MEMS（微少電子機械システム）ディスプレイ」技術の実用化を進める。同ディスプレイは液晶ディスプレイや有機ELディスプレイに比べ、省電力や色再現性、視野角、高速応答で優れるという。シャープのIGZO技術と組み合わせ、モバイル向けMEMSディスプレイの開発に取り組む。 共同開発に向け、Qualcommは総額1億2000万ドル（約99億円）の第三者割当増資を引き受ける形でシャープに出資する。出資は2回に分けて行われ、まず27日払い込みの第1回で約49億円の増資を行い、その後来年3月末予定の2回目で残りを実施する。2回目の増資は、MEMSディスプレイモジュールの仕様確立や設備導入の
臨場感の高いスポーツ放送を スポーツ中継で、選手の会話やプレー音が鮮明に聞こえるかもしれない――。 リオンと東北大学電気通信研究所先端音情報システム研究室は2016年9月、音空間の情報をリアルに集音可能な実用レベルの64チャンネル球状マイクロフォンアレイシステムの開発に成功したと発表した。 さらに、この球状マイクロフォンアレイシステムを無響室（音の反射がほとんどない部屋）で2台用いて、目的音とマイクロフォンの間に妨害音がある状況でも、妨害音のエネルギーを10分の1以下に減少させ、目的音を抽出することにも成功している。 これにより、従来のように指向性の高いマイクロフォンを音源に向け続ける必要がなく、妨害音がある状況でも音源のみを抽出できる。スポーツ競技のテレビ中継で、選手たちの会話やプレー音などを抽出し、臨場感のある中継の実現が期待できる。なお、同研究は、東北大学電気通信研究所の産学共同マッ
米社の新型MEMS加速度センサー、「独自アルゴリズムでタッチ・スクリーンを不要に」（2009/04/01） MEMSセンサーを手掛ける米Kionix（カイオニクス）社は、タッピング操作を検出する独自のアルゴリズムを搭載した3軸MEMS加速度センサー「KXTF9」を発売した。携帯型電子機器に組み込めば、コストが高いタッチ・スクリーンを利用せずに、12通りのタッピング操作が可能になるという。 今回の3軸加速度センサーには、「Directional Tap/Double-Tap」と呼ぶ同社独自のアルゴリズムが搭載されており、携帯型電子機器の筐体の6つの面それぞれに対するシングル・タッピングとダブル・タッピングを識別できる。同社でセールス＆マーケティング担当バイス・プレジデントを務めるEric Eisenhut氏によれると、このアルゴリズムは、「機器の筐体の6つの面、すなわち前面、背面、右側、
1967年に東芝に入社後，半導体プロセス技術研究所所長などを経て2001年に東京大学の客員教授に就任した。 都会のど真ん中に50階のビルを建てて農場を作る——。そう真剣に話すのは東京大学 先端科学技術研究センター 客員教授の奥村勝弥氏である。東芝で30年以上にわたり半導体プロセス技術の研究開発を指揮した経験を生かして，現在は東京大学でMEMS技術の研究を手掛けている。半導体とMEMSがどのように農業に関わっていくのか聞くとともに，その発想がどのように生まれたのかを奥村氏の技術者人生から紐解く。 奥村氏は，日本の将来を考えたときに，ハイテク農業が最も適していると説く。 ——なぜハイテク農業なのですか 20年，30年先まで考えたときに，日本の技術は何で一番になれるだろうか。何に力を入れるべきか。ITや通信，バイオ，薬，自動車などは米国や欧州，将来はインドや中国などに勝てないかもしれない。日本が
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薄型パネルを変える新技術「MEMSシャッター」
微小電子機器「MEMS」 ごく小さい電子機器とその製造技術を意味する「MEMS」（Micro Electro Mechanical Systems）は、言い換えれば「半導体生産技術の応用で製作された微小なメカ」だ。一般的な半導体は平面的だが、MEMS機器は立体的な構造を持ち、しかもなんらかの可動部を備えているとされる。そのMEMSが、近年応用範囲を広げつつある。 これまでもMEMSはインクジェットプリンターのヘッド部分などに利用されてきたが、小型で高機能な部品を一括形成する技術（マイクロマシニング技術）の改良などにより製造コストが低下。いまや携帯電話などのデジモノ家電でも、加速度センサーやジャイロスコープといったMEMSデバイスの採用が進行している。 MEMSシャッターで変わるディスプレイ ディスプレイの分野にも、MEMSの採用事例が現れ始めた。日立ディスプレイズが「CEATEC JAPA
MEMSとは「Micro Electro Mechanical Systems」の略称で、「微小電子機械システム」のことを示す。MEMSディスプレイには微細な加工技術を活用しており、優れた色再現性と低消費電力を特徴としている。シャープは、このMEMSディスプレイにシャープの「IGZO」を組み合わせた新しいディスプレイの開発を、2012年からQualcommの子会社であるPixtronix（ピクストロニクス）と進めてきた。Pixtronixは、後述するMEMSシャッターの基礎技術を開発している会社だ。 シャープ 代表取締役 専務執行役員 デバイスビジネスグループ担当の方志教和氏は、「スマートフォンを中心に、大変なスピードで高精細化や狭額縁化が進んでいるが、（高精細化は）そろそろ人間の目の限界まで来ている。（スマートフォンやタブレットは）多機能化が進んでいるので、低消費電力も重要。一方で車載や
パイオニアは9月7日、自動運転車向けデバイス「3D-LiDAR」にMEMSミラーを用いた車載用センサを開発したと発表した。9月下旬から国内外の自動車メーカーやICT関連企業にサンプル供給を開始する。 3D-LiDARは、遠方の物体までの高精度な距離の測定や、物体の大きさを検出できる走行空間センサ。パイオニアでは2020年以降の量産化を目指し、開発を進めている。 開発したMEMS方式の3D-LiDARは、開口部の小さいMEMSミラーとレンズを組み合わせ、光学設計を最適化することで、車載用途での実用化を可能にするもの。サンプルを供給することで、実用化に向けたトータルシステムとしての動作を検証する。 検証結果を基に、各企業の使用用途に適した仕様や形、サイズなどを検討。あわせて独自のデジタル信号処理手法を用い、これまでのLiDARでは難しいとされていた黒色の物体や遠方物体の計測能力を高める技術開発
IGZO＋MEMSでディスプレイが進化する！ シャープがCEATECで「MEMSディスプレイ」展示：CEATEC 2013 CEATEC JAPAN 2013のシャープブースでは、同社独自のIGZOにMEMS技術を組み合わせた「MEMSディスプレイ」が展示。視認性・色再現性の高さをあらゆる環境下で実現し、しかも従来の液晶より超低消費電力という次世代のディスプレイだ。
ＮＴＴと産業技術総合研究所は、原子の核磁気共鳴の周波数を微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）で制御することに成功した。原子核の回転軸がぶれながらコマのように回る周波数を、機械的にコントロールする。この変化を利用した量子メモリーや量子センサーへの応用を目指す。 ガリウム・ヒ素の結晶を加工し、両端が固定された板バネ構造のＭＥＭＳを作成した。このバネを振動させると固定端にひずみが生じる。ひずんだ部分の原子は核磁気共鳴の周波数が影響を受ける。 実験で板バネの振動を増減させたところ、５キロヘルツほど共鳴周波数を動かすことに成功した。共鳴周波数を変化させたり、混ぜることができた研究は世界初という。このＭＥＭＳの構造は半導体素子に集積できる。ＮＴＴが素子作製と計測、産総研がデータ解析などを担当した。 桁違いの高速計算を実現する量子コンピューターや、絶対的な秘匿性が予想される量子鍵配送通信では、量子情報を一定
将来的に、音楽はただ聴くだけのものではなくなるかもしれない。米大学の研究チームが発表した、音楽を利用して電力を得る医療向けの圧力センサーは、体内埋め込み型デバイスの発展に貢献すると期待される。 米インディアナ州のPurdue Universityの研究グループは、ラップ音楽の低いベース音を利用して駆動するインプラント（体内埋め込み）型のMEMS圧力センサーを開発したと発表した。 同センサーには、MEMS技術でカンチレバー（片持ち梁）が作り込まれており、音楽の周波数が200～500Hzになるとそれが振動する。この振動から電力を生成し、キャパシタを蓄電することが可能だという。いわゆるエネルギーハーベスティング（環境発電）技術を利用するわけだ。 Purdue Universityの電子/コンピュータ工学およびバイオメディカル工学の教授を務めるBabak Ziaie氏は、発表資料の中で、「音楽の音
蹴茶: Qualcommとシャープが作るMEMSディスプレイとは
クアルコム日本法人幹部が 「特定の端末・部品メーカーとは組まないことを基本方針にしてきた。 … 前例にない」（参照） と言っていたQualcommですが、提携契約を締結。 → 日本経済新聞 ／ 47NEWS ／ ロイター → 公式ニュースリリース 出資額は当初50億円。 その後の提携の進捗具合を見て最大で総額100億円を出資とのこと。 鴻海の代わりにはならず 50億円という額自体は鴻海やIntelとの提携話に較べるとかなり少額です。海外３工場 550億円で売却という話もありますので、財政への影響度としてはあまり大きくはないです。シャープ幹部のコメントも色々です。 ・ 資本政策にも寄与する ・ 鴻海からの出資に代わる資本政策とは位置付けていない 銀行からは、みずほ銀行、三菱東京UFJ銀行からそれぞれ約2500億円ほど借りており、さらに1800億円ずつの融資枠も新たに設定。そういった金額と較べ
OMRON製 MEMS非接触温度センサです。視野角がX方向 44.2°、Y方向 45.7°で、それぞれ4分割された4×4の16面のエリア温度を計測できます。温度を見ていますので、焦電型赤外線センサでは難しい静止人物も検出できます。高感度な人感センサを実現可能です。 同社製のMEMS、ASICにより最高レベルのS/N比を達成。デジタル出力で耐ノイズ性に優れます。低クロストークの視野特性により高精度なエリア温度検知を実現しています。 ●特徴 ・素子タイプ : 4×4 ・電源電圧 : DC4.5～5.5V ・視野角 : X方向:44.2°Y方向:45.7° ・対象物温度検出範囲 : 5～50℃ ・消費電流 : 標準5mA ・I2Cインターフェース ●資料 ・製品ページ ・カタログ 当社記事「MEMS温度センサを使おう」も御覧下さい。 前面 下の白枠部分には、製造ロット番号らしき英数字が書かれてい
MEMS温度センサを使おう
発売前新発売の商品ですが、オムロンのMEMS温度センサを使って簡易サーモグラフィーみたいなものを作りました。 今回使った温度センサは、非接触で4x4の範囲の温度を測ることができます(1x8のものもあります)。一般的なサーモグラフィー用の温度センサに比べると解像度がかなり低いのですが、そのぶんお手頃価格で購入できます。 なお、スイッチサイエンスでは、4x4のほうの温度センサ(形D6T-44L-06)とケーブル(ハーネス)を近日中に販売開始します販売しています。興味を持たれた方は販売開始までしばらくお待ちください。温度センサとハーネスを発売しました。 Arduinoと温度センサの間はI2Cで通信するので、I2C通信の機能が割り振られているAnalogピンにセンサを接続します。(今回使ったのはArduino Duemilanoveですが、Unoでも同じです。Leonardoだと違うので、適宜変更
ShowWX+ HDMI is Finalist at MEMS Executive Congress 2011
The MicroVision ShowWX+ HDMI laser pico projector has been chosen as one of the seven finalists by the MEMS Industry Group (MIG) for their first “MEMS Technology Showcase“, to be shown at this year’s MEMS Executive Congress. The demo event will be featuring MEMS-enabled applications from medical devices to entertainment and computing. Finalists were selected based on how the built-in MEMS enhance
米Intel Corp.は，東京で開催されたナノテク関連の国際学会「4ｔｈ International Nanotechnology Conference on Communication and Cooperation（INC4）」の「More than Moore」セッションで，「New paradigms of scaling for MEMS application」と題して講演した。登壇したのは，同社のValluri R Rao氏（Intel Fellow, Technology and Manufacturing Group , Director Analytical and Microsystems Technology）である。
「JMEC」（仮称）という名のMEMS研究開発コンソーシアムが，経済産業省の主導で始まる。欧州の研究開発コンソーシアムのベルギーIMEC（Interuniversity Microelectronics Center）と同様に，国際的にオープンな産官学共同の研究開発拠点となることを目指す。この設立に向けた検討会がこのほど立ち上がり，2015年度までの本格稼働を予定する。 JMECは，産業総合研究所，物質材料機構，筑波大学が連携したナノテク関連の研究拠点「つくばナノテク拠点」のうち，MEMS関連プロジェクトの運営母体となる。つくばナノテク拠点は，経済産業省に加え文部科学省が361億円を投じるナノテク/MEMS関連の研究インフラである。このうちMEMS関連に，両省は42億円を投じる。このすべてが2010年初めごろから2011年3月末までに実行される。JMECは，このMEMS関連予算による設備を
【MWC】「これがMEMSディスプレイ採用ケータイ」，Qualcomm MEMS Technologies社が実機を初展示
米Qualcomm MEMS Technologies, Inc.は，同社のMEMSディスプレイ技術「mirasol display」を採用した中国Qingdao Hisense Communication Co.の携帯電話機「C108」を「MWC 2008」で展示している。開発への取り組みについては明らかにしていたが，実機を公開するのは今回が初めてだという（Tech-On!関連記事1）。 「C108」の画面はモノクロ画面。米Qualcomm MEMS Technologies社の技術を使ったモノクロ表示のMEMSディスプレイは，携帯音楽プレーヤーや腕時計型携帯端末への採用例はあるものの，通常の携帯電話機への採用は今回が初（Tech-On!関連記事2）。「C108」は2008年中に製品化される予定。展示場ではC108の実機のほか，カラーのMEMSディスプレイを搭載するコンセプト・モデルも展
先日の「CEATEC JAPAN 2008」（9月30日〜10月4日開催）では，MEMSミラーを使った小型プロジェクタ関連への取り組みが披露されました（関連記事 1，関連記事 2，関連記事 3，関連記事 4）。特に，NTTドコモが，小型プロジェクタを搭載した携帯電話機（関連記事 5）を出展したことが，期待感を高めたようです。 MEMSによる小型プロジェクタが携帯電話機に搭載した場合，最大のインパクトは，携帯電話機がノートPC市場と競合する機器に進化する点にあります。NTTドコモのような携帯電話機メーカーが着目する理由も，ノートPC市場を代替できる可能性にあります。具体的には，プロジェクタによって，携帯電話のディスプレイの表示寸法を格段に大きくできることです。今回の展示では，NTTドコモや日本信号が，投射距離60〜80cmで20型まで表示できる点を強調していました。 現在の携帯電話機のデ
コンピューターで使われるCPUなどの半導体製品は、微細加工技術によってシリコンダイに回路パターンを転写して製造されており、その微細加工技術で製造したミクロン単位の部品からなる機械は「微小電気機械システム(MEMS)」と呼ばれます。アメリカのスタートアップ「xMEMS」が世界で初めて、MEMS技術を用いてひとつのシリコン基板から製造するモノリシックなスピーカー「Montara」を発表しました。 xMEMS | xMEMS Launches Montara, World’s First Monolithic True MEMS Speaker https://xmems.com/xmems-launches-montara-worlds-first-monolithic-true-mems-speaker/ xMEMS Announces World's First Monolithic ME
東日本大震災を契機として、国民の創エネルギー、省エネルギーへの関心が、一層高まりを見せている。経済産業省が発表した2013年2月末時点での再生可能エネルギー発電設備の導入状況によると、2012年4月から2013年2月末までに運転を開始した再生可能エネルギー発電設備容量は、166.2万kWであり、その約94%が太陽光となっている。「住宅」への設置が着実に進む一方、「非住宅」の認定設備容量が1101.2万kWあり、順次、メガソーラーの稼動が控えていることが推察される。再生可能エネルギーの固定価格買取制度は、長期的な継続が見込まれ、さらなる創エネルギーが期待されている。 こうした創エネルギーや省エネルギー設備の導入の動きから、「共同住宅」が取り残されつつある。2008年の住宅ストック数（平成20年住宅・土地統計調査）をみると、全国の住宅の約4割が共同住宅であり、この割合は、都市部ほど高くなる。東
米University of Washingtonは，昆虫と半導体チップを接続するという基本概念に基づくMEMSデバイスの開発を始めた。その最初の成果を，「MEMS2007」で披露した（1月25日のセッション12）。
米University of California, Berkeleyは，カブト虫を無線操縦する実験を成功させた。イタリアのソレントで開催中の学会「MEMS2009」でその結果をビデオによって公開した。
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生きた昆虫を遠隔操作する『HI-MEMS』プロジェクト | WIRED VISION
シャープ、次世代ディスプレイ「MEMS-IGZO」をサンプル出荷 ～時系列によるカラー表示方式
イヤフォンの新トレンド、「MEMSドライバー」とは何か?
シャープ、MEMS-IGZO搭載7型タブレットを2015年上半期に発売
MEMS 2008レポート昆虫に電子回路をつないで飛行を制御
シャープ、次世代画面「ＭＥＭＳ」量産へ １７年から：朝日新聞デジタル
網膜に直接映すスマートグラスのMEMSミラー
インテルはもうTSMCに勝てない？半導体・MEMS市場の行方を東北大 田中教授が解説
業界初、MEMS-IGZOディスプレイ搭載7.0型タブレット端末を開発
シャープとQualcomm、「MEMSディスプレイ」の共同開発を正式発表 総額100億円の出資も
音を切り出すMEMSマイクロフォンの大きな可能性
話題の「MEMSドライバー」搭載イヤフォン、まとめて聴いてみた。驚きの高域&低歪み【鳥居一豊の「良作×良品」】
米社の新型MEMS加速度センサー、「独自アルゴリズムでタッチ・スクリーンを不要に」 ― EE Times Japan
「半導体やMEMSの行き先はハイテク農業だ」，東大の奥村氏に聞く
シャープ、クアルコムと共同でMEMSディスプレイ開発へ
より低消費電力で、色の再現性も向上――シャープが「MEMS-IGZOディスプレイ」を説明
シャープ、MEMSディスプレイの試作品を公開
パイオニア、MEMSミラー採用の「3D-LiDAR」開発--自動運転車向け
IGZO＋MEMSでディスプレイが進化する！ シャープがCEATECで「MEMSディスプレイ」展示
量子メモリー進化へ、核スピンをＭＥＭＳで制御 ニュースイッチ by 日刊工業新聞社
ラップ音楽で血圧を監視、米大学が体内埋め込み型MEMSセンサーを開発
OMRON MEMS非接触温度センサD6T-44L-06--販売終了
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“MEMSの微細化”，Intelが「More than Moore」セッションで語る（1）
“JMEC”が設立へ，42億円のMEMS国プロの研究拠点に
携帯電話とノートPCの境界を埋めるMEMSプロジェクタ - 日経マイクロデバイス - Tech-On!
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