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青色LEDノーベル賞受賞をお祝いして、中村修二さんの９５年の記事を再掲します（その２） くねくね科学探検日記
●ダブルフローMOCVD とはいえ，ただ人の真似をしないって決めただけで，トントン拍子にことが進んだわけ... ●ダブルフローMOCVD とはいえ，ただ人の真似をしないって決めただけで，トントン拍子にことが進んだわけじゃない。とくに最初の１年半は，苦労の連続だったそうだ。 LED を作るには，まず基板の上に窒化ガリウムの結晶膜を作る方法を見つけなくてはならない。 これにはMOCVD という装置を使うんだけど，うまく窒化ガリウムの結晶膜が作れる装置が，なかなか作れなかった。 MOCDV っていうのは，1000度に加熱した基板に，原料のトリメチルガリウムとアンモニアのガスを流してやるもので，そうするとガスが熱で反応して基盤上に窒化ガリウムの結晶が成長してくる。原理だけ言うとすごく簡単そうだけど，これがそう簡単にはいかないんだよね。 この基盤を加熱するのに，先行していた赤碕教授は，電磁波を照射して電子レンジ方式で加熱する方法を使っていた。もちろん，中村さんはそれを真似したくないので，基盤をヒータ
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2014/10/08 リンク