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「SEMICON West 2016」、半導体露光技術の進化を振り返る(後編)
「SEMICON West 2016」、半導体露光技術の進化を振り返る(後編):福田昭のデバイス通信(83)(1/2 ペ... 「SEMICON West 2016」、半導体露光技術の進化を振り返る(後編):福田昭のデバイス通信(83)(1/2 ページ) 今回はステッパー(縮小投影分割露光装置)の進化の歴史をたどる。1980~1990年代半ばにかけて、g線ステッパーでは光学系の開口数(N.A.)が順調に向上し、i線ステッパーへと移行していく。その後、1996~1997年になると、量産に使えるKrFレーザーステッパーが登場する。 ステッパー(縮小投影分割露光装置)の進撃 半導体製造装置と半導体製造用材料に関する北米最大の展示会「SEMICON West 2016」が7月12~14日に米国カリフォルニア州サンフランシスコのモスコーンセンター(Moscone Center)で開催された。12日には「FORUM」(フォーラム)と称する併設の講演会があり、専門テーマに関する解説や展望などを数多くの研究者や技術者、経営者などが
2016/08/24 リンク