先端半導体、ＡＳＭＬの技術なくても製造へ－ファーウェイが特許申請

中国の通信機器大手、華為技術（ファーウェイ）は国内の半導体協業相手と共同で、先端半導体の製造方法を特許申請した。比較的低い技術で効率的に先端半導体を製造できる手法だという。米国による輸出規制にもかかわらず、中国が半導体製造能力を向上させていく可能性が広がる。 中国国家知識産権局に提出された申請書によると、両社が開発しているのは４倍の密度でパターンを形成する自己整合型クオドルプルパターニング（ＳＡＱＰ）と呼ばれる手法で、高度なリソグラフィー（露光）技術への依存低減につながり得る。オランダのＡＳＭＬホールディングが保有する最先端の極端紫外線（ＥＵＶ）露光装置を使わなくても、先端半導体を製造できるようになるという。ＥＵＶ露光装置はＡＳＭＬにしか作れないが、輸出規制によって中国に売ることはできない。 22日に開示されたファーウェイの申請書には、ＳＡＱＰを用いて先端半導体を製造する手法が説明されてい

[qpci32siekqd]

EUV使わないマルチパターニングはどこもやってるし記事からじゃ何が新規かわからんかった。https://en.wikipedia.org/wiki/Multiple_patterning

[daishi_n]

SAQPとマルチパターニングはIntel 7やIntel 10nmと同じ技術だね。Intelはフルコバルト配線で抵抗値激増・クロックが上がらずコケた。ASMLの特許を回避できるEUV露光装置はまだ先だろうけど侮れない

[napsucks]

下手な規制は相手を強化する危険性もあるのよね。中途半端に抗生物質使うと薬剤耐性株が蔓延るのと同じ。

[TakamoriTarou]

歩留まりが悪いけど作れる、って言われてたやつか。

[nisisinjuku]

ファーウェイ、つまり人民解放軍の傘下の機関がやりよったってことね。

[mongrelP]

あージムケラー言ってたやつだ…

[NEXTAltair]

昔のレアアースのようなことが攻守交代して起きてるな

[mito2]

ASMRは必要だろ

[honma200]

さすがファーウェイというか

[lli]

いずれ克服するだろうけど現時点で歩留まりと量産を解決できてるとは思えない。できてたら凄いが。

[spark7]

低い技術でもコストは高くつくのか。「ファーウェイと協業相手が代替手法で製造する場合、製造コストは業界標準を上回る可能性がある」

[daruism]

ただのSAQPとどう違うのかはさっぱり見えない。EUV使えない以上、ArFでマルチパターニングしても７nm相当、数字盛っても5nmもいかないのでは

[urtz]

中国には金も人材も動機もあるので、時間の問題ではある

[revert]

これで先端に近づけてるかどうかは自分には分からんけど時間の問題な気はするよね。弘芯を見抜けなかったのは激痛だけど所詮は2超円だし。そもそも国策でやってるだろうから金と法の問題はあまりなさそうなんだよね

[mohno]

「比較的低い技術で効率的に先端半導体を製造できる手法」「米国による輸出規制にもかかわらず、中国が半導体製造能力を向上させていく可能性」「技術的問題を和らげることはできても、完全に克服することはできない

[koinobori]

中国の音響メーカー、そんなことやってたのかと思ったらあれはＳＭＳＬだった

[hatebu_ai]

ASML：エーエスエムエル、半導体メーカー名／ASMR：アスマー、自律感覚絶頂反応（耳元で囁かれるようなアレ）／AMSR：アムサー、高性能マイクロ波放射計（地球観測で活躍）

[paradoxparanoic]

多重露光技術かな。コスト増と歩留まり悪化が問題点