[B! MEMS] [2ページ] shrkのブックマーク

分解能0.1mgのサーボ型3軸加速度センサー，ワコーが開発

加速度センサー開発のベンチャ企業ワコーが，サーボ型3軸加速度センサーをMEMS技術により開発した。30日より開催の「第19回マイクロマシン/MEMS展」に展示する。

shrk 2008/07/25

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【関連サイト】小型、マルチバンド対応アンテナを実現するRF-MEMS、車載用機器の無線アンテナにも応用の可能性

現在、携帯機器向けに小型でマルチバンド対応が可能なアンテナを実現するRF-MEMS（Radio Frequency - Micro Electro Mechanical System）可変容量素子が注目を集めている。東芝研究開発センターは、折り返し構造を採用し、圧電体で動作するRF-MEMS可変容量素子を開発した。3V以内の動作電圧で、7倍の容量変化を実現している。

shrk 2008/06/20

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東芝が前工程でMEMSデバイスを封止する技術を発表

東芝は5月30日，前工程でMEMSデバイスを封止する2種類のパッケージング技術を発表した。ウェーハ・レベルで一括処理できることから，MEMSデバイスで課題となるパッケージング・コストを低減できる技術といえる。今回発表した封止技術を適用したMEMSデバイスとドライバICを積層し，0.8mm厚のマルチチップ・パッケージ（MCP）も試作した。同社によると，0.8mm厚のMCPは世界最薄だという。

shrk 2008/05/31

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MEMSを盛り上げるモーション・センサー（1）

ユーザーのジェスチャなどの動きを捉えてユーザー・インタフェースに利用するモーション・センサーがMEMS関連市場を盛り上げている。この動向について，調査会社の仏Yole Developpement社が分析した。今後も高い成長を期待できるという。（三宅常之＝『NIKKEI MICRODEVICES』）

shrk 2008/05/27

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【人とくるまのテクノロジー展】“水晶からSiに”，松下がジャイロのMEMS化計画見せた

松下電器産業と松下電工は，自動車向けジャイロスコープ（角速度センサー）の製品展開計画を「パシフィコ横浜」で開催中の「人とくるまのテクノロジー展2008」で示した。

shrk 2008/05/22

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【SID】MEMSスイッチで有機ELパネルを駆動，Si TFTの限界打破を狙う――韓国KAISTが開発

有機ELの駆動用TFTをMEMSスイッチで置き換える。このような斬新な技術を，韓国Korea Advanced Institute of Science and Techno logy（KAIST）が「SID 2008」のシンポジウムで発表した。狙いは，大画面化や信頼性に対する従来のSi TFTの限界打破である。

shrk 2008/05/21

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MEMSマイクの特許バトルにmemstechがコメント

MEMS技術によるSiマイクの最大手である米Knowles Electronics LLC.と，シンガポールMems Techno logy Bhd.(memstech)が特許問題で争っている。この件でmemstechが，先週に『NIKKEI MICRODEVICES』が開催したセミナー「MEMS International 2008」でコメントした。

shrk 2008/05/21

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2030年のMEMSを展望（2）

数十年後，例えば，2030年頃の半導体は，光やセンサーなどMEMSが深く関与する機能や，電源まで一体化した姿になる。こうした持論を早くから提示している，東北大学教授の江刺正喜氏に話を聞いた。第2回目は，アジアの現状や，幅広い技術分野ならではの難しさ，広がるチャンスなどを紹介する。

shrk 2008/05/13

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2030年のMEMSを展望（1）

数十年後，例えば，2030年頃の半導体は，光やセンサなどMEMSが深く関与する機能や，電源まで一体化した姿になる。こうした持論を早くから提示している，東北大学教授の江刺正喜氏に話を聞いた。

shrk 2008/05/13

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新構造のMEMS振動子，SiTimeが開発中

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shrk 2008/05/09

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2007年のMEMS市場，価格急落で前年比5.8％減に

2007年のMEMSデバイス売上高は，前年比5.8％減の86億米ドルと，マイナス成長になった。多くのMEMSデバイスにおいて，これ以上には低減できないレベルまで価格下落が進んだためである。調査会社の米Bourne Research LLCの調査結果による。産業機器用オートメーション向けのセンサーは急増しているが，他の主要分野を補完するまでには至っていない。

shrk 2008/05/02

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網膜走査ディスプレイとレーザー光の安全性

網膜にレーザー光を照射して像を見させる網膜走査ディスプレイ。半導体レーザー技術とMEMSスキャナ技術の進展で，軍事用途だけではなく，民生用途でも実用化が見えてきた。その安全性について，2010年度の製品化を目指すブラザー工業に聞いた。

shrk 2008/05/01

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携帯機器の動きを検知してユーザー・インタフェースに利用する。任天堂のゲーム機「Wii」やNTTドコモの「DoCoMo2.0」対応の携帯電話機，米Apple Inc.の携帯型機器やマルチメディア・プレーヤで既に実用化されている。その手段として，MEMSによる加速度/角速度センサーで実現する手法と，CCD/CMOSカメラなどで取り込んだ周囲の画像の変化から機器の動きを把握する手法がある。これら両方の手法の開発経験のある臼田総合研究所の臼田裕氏に，両者の特徴について聞いた。

shrk 2008/04/18

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“MEMSの微細化”，Intelが「More than Moore」セッションで語る（1）

米Intel Corp.は，東京で開催されたナノテク関連の国際学会「4ｔｈ International Nanotechnology Conference on Communication and Cooperation（INC4）」の「More than Moore」セッションで，「New paradigms of scaling for MEMS application」と題して講演した。登壇したのは，同社のValluri R Rao氏（Intel Fellow, Techno logy and Manufacturing Group , Director Analytical and Microsystems Techno logy）である。

shrk 2008/04/18

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インドのMEMS開発（1），“3000ドル車”とMEMSの関係

技術力と市場規模の大きさでエレクトロニクス産業での支配力を高めつつあるインド。MEMSにおける研究開発にも力を入れている。インドにおけるMEMSの研究開発の現状をMEMS分野の調査会社が連載する。（三宅常之＝日経マイクロデバイス）

shrk 2008/04/02

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オムロン，燃料電池向けMEMSフロー・センサーを開発

オムロンは，低価格のMEMSフロー・センサー「形D6F MEMSフローセンサ（クイックファスナタイプ）」を開発した。燃料電池システムの燃料ガスと空気の流量を精密に測定し，酸素と水素の混合比を最適化して高効率運転を実現できる。量産が可能な難燃性樹脂を使うことにより，低価格化と軽量化を図った。

shrk 2008/02/21

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2012年に向け50％超/年で急成長するMEMSは？

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shrk 2008/02/13

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アドバンテストが仙台新工場竣工，MEMSスイッチを量産（2）

アドバンテストが1月より操業を始めた「仙台工場A館」では，LSIテスターに使うRFスイッチをMEMS技術で製造している。関係者へのお披露目の際に，この技術についても紹介した。

shrk 2008/02/13

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【MWC】「ケータイでプロジェクタ」が現実に，TI社が携帯電話機向けDLPデバイスを発売へ

米Texas Instruments Inc.は，携帯電話機への内蔵を想定した超小型プロジェクタ・デバイス「DLP Pico」を，2008年後半に発売する方針を明らかにした。Picoは，同社のMEMSデバイス「DLP（digital light processing）」を，携帯機器向けに小型化したもの。