半導体製造装置でも躍進する中国 日本はシェア低下を止められるのか

まず、欧米日の地域別のシェアを見てみると、ASMLがある欧州は、露光装置で94.2％を独占している。米国は、AMAT、Lam、KLAの3社を中心にして、ドライエッチング装置（62.3％）、CVD装置（66.0％）、スパッタ装置（87.9％）、CMP装置（70.4％）、外観検査装置（69.6％）、パタン検査装置（90.3％）でトップシェアを獲得している。 一方、日本は、コータ・デベロッパ（94.1％）、熱処理装置（93.3％）、枚葉式洗浄装置（64.6％）、バッチ式洗浄装置（80.1％）、マスク検査装置（54.5％）CD-SEM（70.3％）でトップシェアを占めている。 しかし、日本のシェアが高い装置は、市場規模があまり大きくない。その反面、欧米は、100億米ドルを超える市場規模の前工程装置の世界シェアを独占している。246億米ドルの露光装置はASMLが94.6％、154億米ドルのドライエッ

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“日本の半導体デバイス産業が壊滅的になってしまったことは周知の通りだが、装置と材料の競争力は高いと思い込んでいた。ところが、前工程装置全体の地域別シェアを算出してみたところ、2010年以降に、日本の装置の