茨城県ひたちなか市に半導体製造装置の新工場が完成、スマート工場化で高効率日立ハイテクは2021年3月22日、2019年11月から茨城県ひたちなか市に建設を進めていた半導体製造装置および解析装置の設計、開発、製造を担う新工場「マリンサイト」が竣工したと発表した。鉄骨造の地上6階建てで、延床面積は約5万m2。総投資額は約300億円だ。 マリンサイトではIoT（モノのインターネット）の活用などでDX（デジタルトランスフォーメーション）を推進する、最新鋭のスマートファクトリーを目指している。生産進度、製品性能、生産環境などデータを一元管理し、各工程の情報を可視化する統合管理システムや、部材の自動搬送やリモート調整の導入により、高効率かつ安定的な生産体制を構築する。 また、生産時に使用するクリーンルームと同等の生産環境の整備や、半導体製造装置と解析装置の設計者の連携を深めるなど、高精度な装置間マッチングといった顧客から要求される課題解決への対応力強化や、開発環境の充実化
