裏面電源供給がブレークする予感、そしてDRAMも3次元化に加速 ~VLSI2023:湯之上隆のナノフォーカス(64)(1/7 ページ) 2023年6月に開催された「VLSIシンポジウム2023」は大盛況であった。本稿では、筆者が“ブレークの予感”を抱いた裏面電源供給技術と、3D(3次元) NAND/DRAM技術に焦点を当てて、解説する。
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