SEMでの元素分析を10nm以下の空間分解能で実現
産業技術総合研究所（産総研）は、走査型電子顕微鏡（SEM）中で行うエネルギー分散型X線分光法（EDS）計測を用いた元素分析において、これまでより2桁以上も高い空間分解能で可視化する技術を開発した。 ナノ粒子や酸化グラフェンなどの分析、評価に活用 産業技術総合研究所（産総研）は2019年11月、走査型電子顕微鏡（SEM）中で行うエネルギー分散型X線分光法（EDS）計測を用いた元素分析において、試料の支持基板を工夫するなどして、これまでより2桁以上も高い空間分解能で可視化する技術を開発したと発表した。 今回の研究は、新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）の「超先端材料超高速開発基盤技術プロジェクト」として行われている「CNT（カーボンナノチューブ）複合材料評価の基盤技術開発」で取り組んでいる開発テーマの1つ。産総研ナノチューブ実用化研究センターCNT評価チームの中島秀朗産総研特別研究員
“人”の働きを自然に助ける“日本らしい”スマート工場へ、産総研が団体設立
産業技術総合研究所（以下、産総研）は2019年6月10日、「『人』が主役となるものづくり革新推進コンソーシアム（Consortium for Human-Centric Manufacturing Innovation、以下HCMIコンソーシアム）」の設立総会を開催し、同コンソーシアムでの取り組み内容を発表した。新たに2019年4月に完成した産総研サイバーフィジカルシステム研究棟（以下、CPS研究棟）をベースとし、現在確立されていない「人の働きを自然に支援するモノづくり」についての基盤技術の確立を目指す。 機械を中心としたモノづくりの終焉 HCMIコンソーシアムは、産総研、沖電気工業、日鉄ソリューションズ、三菱電機が設立発起機関となり2019年4月10日に設立を発表。その後、準備を進め今回設立総会を開催した。HCMIコンソーシアム 会長で産総研 理事 情報・人間工学領域 領域長の関口智嗣氏
ロボットサービスの安全マネジメントに関する新規格を制定
産業技術総合研究所がまとめた「サービスロボットを活用したロボットサービスの安全マネジメントシステムに関する要求事項」が、JIS規格「JIS Y 1001」として制定された。 産業技術総合研究所は2019年5月20日、同研究所のロボットイノベーション研究センターがまとめた「サービスロボットを活用したロボットサービスの安全マネジメントシステムに関する要求事項」が、JIS規格「JIS Y 1001」として制定されたと発表した。 交通機関や商業施設の案内ロボット、介護分野での介護、アシストロボットなど、一般の人が利用するサービスロボットの実用化が始まっている。ロボット本体については、産業用、サービスともに安全規格があり、ロボット運用時の安全も産業用はISO45001や労働安全衛生法で規定されている。一方、サービスロボットの運用には、該当の規格がなかった。また、同年7月1日施行の「産業標準化法（新J
産総研、大面積ダイヤモンドウエハー実現可能に
産業技術総合研究所（産総研）は、マイクロ波プラズマCVD法を用い、クラックがない体積1cm△△3△△級の単結晶ダイヤモンド作製に成功した。インチサイズのウエハー実現に大きく近づいた。 ガスを原料に体積1cm3級の単結晶ダイヤモンド作製 産業技術総合研究所（産総研）は2019年3月、マイクロ波プラズマCVD法を用い、クラックがない体積1cm3級の単結晶ダイヤモンドの作製に成功したと発表した。この製造方法はガスを原料としており、インチ級サイズの単結晶半導体ウエハー作製も可能とみている。 次世代パワー半導体の性能向上や省電力を可能にする新材料として、SiC（炭化ケイ素）やGaN（窒化ガリウム）、Ga2O3（酸化ガリウム）、ダイヤモンドなどが注目されている。 特に、ダイヤモンドは耐圧や熱伝導率などに優れているため、実用化が期待されている材料の1つである。しかし、これまで製造に用いてきた高温高圧法だ
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