鉛フリーで鉛系並み圧電性能、住友化学が薄膜材料を開発 ニュースイッチ by 日刊工業新聞社住友化学は、鉛フリーの圧電薄膜ウエハーで既存の鉛系材料並みの性能を実現した。鉛は欧州特定有害物質規制（ＲｏＨＳ）の対象で、多くの分野で代替が進むが、圧電薄膜材料では鉛系に匹敵する素材がなかった。今後、センサーやアクチュエーター、各種微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）デバイスなど用途を探索し、事業化を目指す。 住友化学はカリウムやナトリウム、ニオブからなるＫＮＮ薄膜ウエハーに取り組む。開発したＫＮＮ薄膜の圧電特性の大きさを示す圧電定数（ｅ３１）は、１平方メートル当たり１２クーロン。従来の鉛を含むチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）薄膜並みの性能を実現し、実用化レベルに到達した。 ＫＮＮ薄膜の圧電特性は以前から知られていたものの不十分だった。住友化学は長年研究開発に取り組み、成分組成や薄膜の製造条件を調整し、性能を高めた。寿命はＰＺＴ薄膜よりも優位という。 同社はＫＮＮ薄膜でＰＺＴ薄膜の置き換えを図る
