住友化学は、鉛フリーの圧電薄膜ウエハーで既存の鉛系材料並みの性能を実現した。鉛は欧州特定有害物質規制(RoHS)の対象で、多くの分野で代替が進むが、圧電薄膜材料では鉛系に匹敵する素材がなかった。今後、センサーやアクチュエーター、各種微小電気機械システム(MEMS)デバイスなど用途を探索し、事業化を目指す。 住友化学はカリウムやナトリウム、ニオブからなるKNN薄膜ウエハーに取り組む。開発したKNN薄膜の圧電特性の大きさを示す圧電定数(e31)は、1平方メートル当たり12クーロン。従来の鉛を含むチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)薄膜並みの性能を実現し、実用化レベルに到達した。 KNN薄膜の圧電特性は以前から知られていたものの不十分だった。住友化学は長年研究開発に取り組み、成分組成や薄膜の製造条件を調整し、性能を高めた。寿命はPZT薄膜よりも優位という。 同社はKNN薄膜でPZT薄膜の置き換えを図る
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