SEMでの元素分析を10nm以下の空間分解能で実現産業技術総合研究所（産総研）は、走査型電子顕微鏡（SEM）中で行うエネルギー分散型X線分光法（EDS）計測を用いた元素分析において、これまでより2桁以上も高い空間分解能で可視化する技術を開発した。 ナノ粒子や酸化グラフェンなどの分析、評価に活用 産業技術総合研究所（産総研）は2019年11月、走査型電子顕微鏡（SEM）中で行うエネルギー分散型X線分光法（EDS）計測を用いた元素分析において、試料の支持基板を工夫するなどして、これまでより2桁以上も高い空間分解能で可視化する技術を開発したと発表した。 今回の研究は、新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）の「超先端材料超高速開発基盤技術プロジェクト」として行われている「CNT（カーボンナノチューブ）複合材料評価の基盤技術開発」で取り組んでいる開発テーマの1つ。産総研ナノチューブ実用化研究センターCNT評価チームの中島秀朗産総研特別研究員
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