平面タイル上を浮遊する搬送システム ベッコフオートメーションが新たに開発した「XPlanar」は、配置された平面タイルの上を自由に浮遊する可動部を、高度な制御技術により精密に位置決めすることによって実現した新たな搬送システムである。浮遊する可動部は2Gの加速度、4m/sの速度、±50μmの精度で位置再現が可能となる。非接触であるため、摩耗や汚染物質の排出なども抑えられる。 基盤となる平面タイルは240×240mmで任意の形状に配置が可能。タイル内には電子機器が組み込まれており、新たに発表された高速のEtherCAT G通信に対応する。水平方向だけでなく垂直方向、また逆さまに設置して使うことなども可能だ。平面タイルの上を動く可動子は、95×95mmで可搬重量0.4kgの小型タイプ、155×155mmで可搬重量1.5kgの標準タイプ、155×275mmで可搬重量3kgのロングタイプ、275×2
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