産業技術総合研究所(産総研)は、従来のITO膜に比べ電子移動度が6倍以上で、近赤外帯域の透過率を1.7倍に高めた「フレキシブル透明導電フィルム」を開発した。赤外線監視カメラや車載カメラの性能を向上させることが可能となる。 PET樹脂基材上で133cm2/Vsの電子移動度を実現 産業技術総合研究所(産総研)製造技術研究部門リマニュファクチャリング研究グループの野本淳一研究員と山口巖上級主任研究員は2022年12月、従来のITO膜に比べ電子移動度が6倍以上で、近赤外帯域の透過率を1.7倍に高めた「フレキシブル透明導電フィルム」を開発したと発表した。赤外線監視カメラや車載カメラの性能を向上させることが可能となる。 開発した透明導電フィルムは、ポリエチレンテレフタレート(PET)樹脂基材上に、酸化インジウム(In2O3)薄膜を形成した。微量の水素とセリウムを添加した非晶質薄膜(以下、ICO:H)は